

在半導(dǎo)體、石油化工、能源電力等工業(yè)領(lǐng)域,可靠的氣體檢測(cè)是保障人員安全、防止環(huán)境污染和設(shè)備損壞的核心環(huán)節(jié)。D-ReX 等現(xiàn)代氣體檢測(cè)系統(tǒng)通常集成多種傳感器技術(shù),其中電化學(xué)傳感器(EC)、紅外傳感器(IR) 與催化燃燒傳感器(CC) 是應(yīng)用最廣泛的三種。它們基于不同的物理化學(xué)原理,各有其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)和適用場(chǎng)景。本文旨在系統(tǒng)對(duì)比這三類(lèi)傳感器的關(guān)鍵技術(shù)特性,并結(jié)合 D-ReX 系統(tǒng)的應(yīng)用示例,為工業(yè)氣體檢測(cè)方案的選擇提供清晰的決策框架。
一、 核心技術(shù)原理對(duì)比
特性 電化學(xué)傳感器 紅外傳感器 催化燃燒傳感器
工作原理 目標(biāo)氣體在傳感電極發(fā)生氧化或還原反應(yīng),產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電流信號(hào)。 基于氣體對(duì)特定波長(zhǎng)紅外光的吸收特性。氣體濃度通過(guò)測(cè)量光強(qiáng)衰減量確定。 可燃?xì)怏w在催化珠表面無(wú)焰燃燒,引起傳感器電橋電路電阻變化,輸出與濃度成比例的信號(hào)。
檢測(cè)對(duì)象 主要為毒性氣體(如 CO, H?S, Cl?, NH?, PH?)和氧氣(O?)。 主要為紅外活性的氣體(如 CO?, CH?, 各類(lèi)碳?xì)浠衔铮┮约安糠痔厥鈿怏w(如 N?O)。 幾乎所有可燃性氣體和蒸氣(如 CH?, H?, 烷烴, 溶劑蒸氣)。
測(cè)量結(jié)果 通常以 ppm(百萬(wàn)分之一)或 %vol(氧氣)為單位。 通常以 ppm 或 %vol 為單位。 以 %LEL(爆炸下限百分比)為單位,直接指示爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
核心優(yōu)勢(shì) 靈敏度極高(可達(dá) ppm 甚至 ppb 級(jí)),選擇性好,功耗低。 非接觸式測(cè)量,壽命極長(zhǎng)(通常5-10年),不受氧氣濃度影響,抗中毒能力強(qiáng)。 對(duì)絕大多數(shù)可燃?xì)怏w響應(yīng)通用性好,成本相對(duì)較低,技術(shù)成熟。
主要局限性 壽命有限(通常1-3年),易受溫濕度、交叉氣體干擾,電解質(zhì)可能耗盡。 對(duì)單原子分子(如 H?)和同核雙原子分子(如 N?, O?, Cl?)不敏感。初期投資較高。 必須在含氧環(huán)境中工作,易受硅化物、硫化物、鹵代烴等物質(zhì)催化中毒而永久失效。
二、 關(guān)鍵性能指標(biāo)深度剖析
選擇性與交叉干擾
EC傳感器:具有高度的氣體選擇性(如專(zhuān)用于PH?或AsH?),但某些氣體(如CO和H?在某些傳感器上)可能產(chǎn)生交叉干擾。D-ReX 提供的“Arsine / no H?”傳感器即是針對(duì)性優(yōu)化的例子。
IR傳感器:選擇性優(yōu)異,通過(guò)濾光片選擇特定吸收波長(zhǎng)。例如,檢測(cè)CH?的傳感器不受CO?和水蒸氣干擾,反之亦然。
CC傳感器:通用性強(qiáng),但選擇性差。無(wú)法區(qū)分具體可燃?xì)怏w類(lèi)型,對(duì)混合氣體的響應(yīng)為綜合值。
響應(yīng)時(shí)間與壽命
響應(yīng)時(shí)間:EC傳感器通常較快(T90 < 60秒);IR傳感器響應(yīng)極快(可<10秒);CC傳感器響應(yīng)迅速(通常<30秒)。
使用壽命:EC傳感器壽命最短,受電解質(zhì)消耗和交叉氣體影響;IR傳感器壽命最長(zhǎng),核心光學(xué)部件無(wú)消耗;CC傳感器壽命中等,但一旦中毒或燒結(jié)即永久失效。
環(huán)境適應(yīng)性
溫濕度:EC傳感器性能受溫濕度影響顯著,常需內(nèi)置補(bǔ)償電路。IR傳感器受溫濕度影響小。CC傳感器在低溫、高濕度下靈敏度可能降低。
缺氧環(huán)境:IR是唯一能在缺氧或無(wú)氧環(huán)境中正常測(cè)量目標(biāo)氣體濃度的技術(shù)(如測(cè)量CO?)。CC傳感器在氧含量低于10%時(shí)可能無(wú)法工作或讀數(shù)不準(zhǔn)。
防爆要求:CC傳感器本身可能成為點(diǎn)火源,必須安裝在防爆外殼內(nèi)。EC和IR傳感器本質(zhì)安全型設(shè)計(jì)更易實(shí)現(xiàn)。
三、 在D-ReX系統(tǒng)中的應(yīng)用與選型指南
D-ReX 系統(tǒng)通過(guò)靈活的傳感器配置,完美體現(xiàn)了“根據(jù)工況選擇技術(shù)”的理念。
應(yīng)用場(chǎng)景 推薦傳感器技術(shù) D-ReX 對(duì)應(yīng)方案與考量
半導(dǎo)體工藝氣體毒性泄漏監(jiān)測(cè)(如 AsH?, PH?, ClF?) 電化學(xué) 選擇對(duì)應(yīng)氣體的專(zhuān)用EC傳感器,實(shí)現(xiàn) ppb 至 ppm 級(jí)的極高靈敏度監(jiān)測(cè),保障人員健康。
潔凈室或工藝工具腔室CO?濃度監(jiān)控 紅外 采用IR傳感器,避免接觸式測(cè)量帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn),且壽命長(zhǎng),維護(hù)周期與設(shè)備大修同步。
一般環(huán)境可燃?xì)怏w泄漏監(jiān)測(cè)(如甲烷、氫氣、溶劑蒸氣) 催化燃燒 在氧氣充足的區(qū)域,使用CC傳感器進(jìn)行經(jīng)濟(jì)有效的防爆監(jiān)測(cè)。D-ReX 提供 0-100%LEL 的標(biāo)準(zhǔn)化監(jiān)測(cè)。
燃?xì)忮仩t房、管道走廊的甲烷連續(xù)監(jiān)測(cè) 紅外 推薦IR傳感器。因其壽命長(zhǎng)、免標(biāo)定周期長(zhǎng)、不易中毒,適合無(wú)人值守的長(zhǎng)期連續(xù)監(jiān)測(cè)。
惰性氣氛保護(hù)環(huán)境(如氮?dú)夤瘢┑目扇細(xì)怏w監(jiān)測(cè) 紅外 必須使用IR傳感器。CC傳感器在無(wú)氧環(huán)境中失效。
存在催化劑毒物(如硅烷、鹵代烴)的工藝區(qū)域 紅外 或 EC(針對(duì)毒性氣體) 避免使用CC傳感器。例如,監(jiān)測(cè)硅烷(SiH?)本身可使用EC傳感器,監(jiān)測(cè)其泄漏區(qū)域的可燃風(fēng)險(xiǎn)則需使用IR傳感器監(jiān)測(cè)。
需要超長(zhǎng)免維護(hù)周期的遠(yuǎn)端監(jiān)測(cè)點(diǎn) 紅外 結(jié)合 D-ReX PoI(遠(yuǎn)程安裝)版本,將IR傳感器置于檢測(cè)點(diǎn),通過(guò)長(zhǎng)達(dá)1200米的電纜連接控制器,極大減少現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)頻率。
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